MCRT CLEAN AIR MANAGEMENT SYSTEME (CAMS):
Spezielle Lösungen

Die MCRT entwickelt und produziert spezielle Lösungen für Reinluftsysteme, die direkt an Ihre Prozessmaschine, auf Wunsch selbstverständlich im selben Design, adaptiert werden.

 

Beladestationen höchster Reinraumklasse

• Verhindern Partikelkontamination während des Beladens der Maschine
• Höchste Reinraumklassen im Ladebereich bei geöffneten Türen
• Höchste Reinraumklassen innerhalb der Maschine bei geschlossenen Türen

 

Referenzen

MCRT Minienvironments und Clean Air Management Systeme werden u.a. bei folgenden Systemen in der Halbleiterindustrie eingesetzt:

• Prober
• Ätzanlagen
• Wafer-Handhabungs-Systeme
• Implanter
• Nass-Prozess-Anlagen
• Metrology-Anlagen